整合神經網路與螞蟻群聚最佳化的製程參數決策模式設計

蘇純繒* 翁瑞聰 鄒尚峻

國立雲林科技大學工業管理系

640 雲林縣斗六市大學路三段123 號

摘要

本研究主要提出一製程參數最佳化的方法。其方法以螞蟻群聚最佳化與資料挖掘為 主；此外以類神經網路來做為製程模擬的技術。然而類神經網路整個建模的過程為黑 箱作業，使得需靠著能見度(visibility)進行找解的螞蟻群聚最佳化，在發展演算法時會 遇到瓶頸。因此，本研究目的在於以類神經網路為模擬工具下的螞蟻群聚最佳化演算 架構，主要藉由資料挖掘中的決策樹來萃取出類神經網路的輸入與輸出關係，以此克 服黑箱作業，藉此找出製程參數的最佳組合。最後以半導體化學機械研磨製程來進行 測試。

關鍵詞： 螞蟻群聚最佳化，類神經網路，資料挖掘，化學機械研磨製程

(*連絡人: E-mail suct@yuntech.edu.tw )

Cite this article as: Chwen-Tzeng Su, Jui-Tsung Wong and Shang-Chun Tsou, "A Process Parameters Determination Model by Integrating Artificial Neural Network and Ant Colony Optimization," Journal of the Chinese Institute of Industrial Engineers, 22, 346-354 (2005).